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portada Technologien Der Mikrosysteme (in German)
Type
Physical Book
Author
Publisher
Language
German
Pages
246
Format
Paperback
Dimensions
24.4 x 17.0 x 1.4 cm
Weight
0.42 kg.
ISBN13
9783658374976
Categories

Technologien Der Mikrosysteme (in German)

Ha Duong Ngo (Author) · Springer Vieweg · Paperback

Technologien Der Mikrosysteme (in German) - Ngo, Ha Duong

Physical Book

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Synopsis "Technologien Der Mikrosysteme (in German)"

Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Es kann in zwei Teile aufgeteilt werden. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding). Teil II behandelt die Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme und vermittelt Kenntnisse zu den Prinzipien der Chipmontage. Dabei stehen u.a. die Beschichtungstechnologien (Metallisierungssysteme) und Kontaktiertechnologien (Löten, Kleben, Bonden) im Vordergrund.

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