menu

0

My Account

  • argentina
  • chile
  • colombia
  • españa
  • méxico
  • perú
  • estados unidos
  • internacional
portada Tecnologia Mems: Uma Abordagem Para a Fabricação de Lentes Electrostáticas Finas: Uma Microcoluna Ultraminiaturizada com Emissor de Campo 2D-Cnt (um Mini-Sem) (in Portuguese)
Type
Physical Book
Publisher
Author
Year
2021
Language
Portuguese
Pages
92
Format
Paperback
ISBN13
9786204156682
Categories

Tecnologia Mems: Uma Abordagem Para a Fabricação de Lentes Electrostáticas Finas: Uma Microcoluna Ultraminiaturizada com Emissor de Campo 2D-Cnt (um Mini-Sem) (in Portuguese)

Anjli Sharma; Sanjeev K. Kanth; Ho Seob Kim (Author) · Edições Nosso Conhecimento · Paperback

Tecnologia Mems: Uma Abordagem Para a Fabricação de Lentes Electrostáticas Finas: Uma Microcoluna Ultraminiaturizada com Emissor de Campo 2D-Cnt (um Mini-Sem) (in Portuguese) - Anjli Sharma; Sanjeev K. Kanth; Ho Seob Kim

Physical Book

$ 49.93

$ 59.29

You save: $ 9.36

16% discount
Envío gratis a todo Estados Unidos
  • Condition: New

Choose the list to add your product or create one New List

Go to My Wishlists
It will be shipped from our warehouse between Friday, June 21 and Monday, June 24.
You will receive it anywhere in United States between 1 and 3 business days after shipment.

Synopsis "Tecnologia Mems: Uma Abordagem Para a Fabricação de Lentes Electrostáticas Finas: Uma Microcoluna Ultraminiaturizada com Emissor de Campo 2D-Cnt (um Mini-Sem) (in Portuguese)"

Desde a descoberta da microcoluna pela Chang em 1980, tem havido um imenso interesse na microcoluna miniaturizada devido às suas várias aplicações como a litografia de feixe eletrônico direto, dispositivo de baixo custo, baixa voltagem-SEM, e porportátil-SEM devido ao seu alto desempenho em termos de rendimento. O tamanho compacto permite que as microcolunas sejam montadas em forma de matriz, o que melhora significativamente o desempenho de imagem ou a capacidade de produção de litografia. Fabricamos e investigamos três projetos diferentes de microcolunas, todos utilizando a lente de fonte modificada, distância de trabalho diferente e com e sem lente objetiva. A qualidade da imagem e a corrente da sonda de todas as microcolunas recém-fabricadas foram investigadas. As lentes eletrostáticas foram fabricadas pela técnica MEMS. O emissor de campo 2D-CNT foi utilizado como emissor da fonte para estas colunas. Nosso resultado sugeriu que entre todas as três estruturas de microcolunas, a microcoluna ultraminiaturizada mostrou a maior corrente de sonda ~9,5 nA. Uma microcoluna ultraminiaturizada pode ser um candidato promissor para a próxima geração de ferramentas litográficas, pois o projeto é mais adequado para a microcoluna integrada em escala de wafer do que a microcoluna convencional.

Customers reviews

More customer reviews
  • 0% (0)
  • 0% (0)
  • 0% (0)
  • 0% (0)
  • 0% (0)

Frequently Asked Questions about the Book

Is the book original?

All books in our catalog are Original.

In what language is the book written?

The book is written in Portuguese.

What is the format of this book?

The binding of this edition is Paperback.

Questions and Answers about the Book

Do you have a question about the book? Login to be able to add your own question.

Opinions about Bookdelivery

More customer reviews